真空を包むチタニウム ターゲット目標資料チタニウムGr2 78.99OD*45の放出させる材料
純度は目標資料の純度にフィルムの特性の大きい影響があるので、目標資料の主要な性能の索引の1つである。但し、実用化に、目標資料の純度の条件はまた異なっている。気孔の固体材料の不純物はおよび酸素および水蒸気フィルムの沈殿の主要なもとである。目標資料の固体の気孔率を減らし、放出させたフィルムの特性を改良するために、目標資料は通常高密度があるように要求される。目標資料の密度はフィルムの放出させる率、また電気および光学的性質にだけでなく、影響を与える。より高い目標資料、よりよいの密度フィルムの性能。さらに目標資料がよりよく放出させるプロセスの熱圧力に耐えることができるように、目標資料の密度そして強さは改善することができる。密度はまた目標資料の主要なパーフォーマンスの索引の1つである。
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