高硬さ 高温耐性 化学腐食耐性 半導体機器用セラミックアーム

セラミックアーム ジルコニアセラミックス1. 耐摩耗性、耐薬品性、耐高温性、耐磁性に優れており、材料や環境を汚染することなく極めて過酷な環境下でも使用可能です。2. 高靱性、高曲げ強度、高耐摩耗性を有し、熱膨張係数が鋼に近く断熱性に優れています。ナノアルミナナノアルミナは粒子サイズが細かいため、合成宝石、分析試薬、ナノ触媒や担体の製造に使用できます。発光材料に使用すると、発光強度を大幅に高めることができます。セラミックスやゴムの強化においては、通常のアルミナに比べて数倍の効果があり、特にセラミックスの密度、表面平滑性、耐熱疲労性の向上に効果があります。ナノアルミナは主に YGA レーザー結晶および集積回路基板の主要コンポーネントに使用され、耐摩耗性を向上させるためにコーティングにも添加されます。 優れた精度と耐久性が要求される半導体製造用途向けに設計された高性能セラミックアーム。 製品の特徴 材質の特徴:高硬度、耐高温性、耐薬品性 高精度加工：ノズル位置の平面度を0.02mm以内で制御可能 カスタマイズされたデザイン:サイズ（最大約400mm）と穴位置をカスタマイズ可能、主流の半導体装置に対応 機械的性質 財産 ユニット 炭化ケイ素 密度 g/cm3 3.15 ビッカース硬さ Hv0.5 2650 曲げ強度 MPa 450 圧縮強度 MPa 2650 弾性率 GPa 430 破壊靱性 MPa*m¹/² 4 ポアソン比 0.14 ヤング率 GPa 430 炭化ケイ素原料の純度 % 99 熱特性 財産 ユニット 炭化ケイ素 25℃における熱伝導率 W/mK 110 融点 ℃ 2800 比熱 J/g*K 0.8 線膨張係数 10⁻⁶/K 4 電気的特性 財産 ユニット 炭化ケイ素 誘電率 1MHz 10 耐電圧 V/cm 1×10⁶ 誘電損失 1MHz 0.001 抵抗率 Ω*cm 10²-10⁶